Puslaidininkiniai filtrai

Puslaidininkiniai dujų filtrai:

Nepriekaištingo dujų grynumo drožlių gamyboje užtikrinimas

Sudėtingame puslaidininkių gamybos pasaulyje, kuriame tikslumas ir grynumas yra svarbiausia, kokybė

naudojamos dujos vaidina lemiamą vaidmenį lemiant proceso sėkmę. Priemaišos, net ir be galo mažu kiekiu,

gali sugriauti subtilią mikroschemų grandinę, todėl jos gali būti sugedusios ir netinkamos naudoti. Norėdami apsaugoti

Šiame kritiniame procese puslaidininkiniai dujų filtrai yra nepalenkiami sargai, kruopščiai pašalinantys teršalus

ir užtikrinti nepriekaištingą dujų, tekančių per gamybos linijas, kokybę.

Sukepinto metalo filtrai turi daug puikių savybių ir privalumų

1. Sukurta moderniausioje švaraus kambario aplinkoje

Šie filtrai gimsta modernioje švarioje patalpoje – aplinkoje, kurioje kruopščiai palaikomos nepriekaištingos sąlygos, siekiant sumažinti bet kokį galimą užterštumą. Jiems taikomas griežtas gamybos procesas, pradedant nuo tikslaus suvirinimo gryno oro atmosferoje. Vėlesnis dejonizuoto vandens praplovimas, po kurio eina aukšto slėgio, filtruoto azoto išvalymas, pašalina bet kokias liekančias daleles ir sumažina dalelių išsiliejimo riziką.

2. Išskirtinis dalelių šalinimo efektyvumas

Su nepaprastu 9 LRV 0,003 μm dalelių filtravimo efektyvumu, laikantis griežtų standartų, nustatytų SEMI F38 ir ISO 12500 bandymo metodais, šie filtrai efektyviai pašalina visas korozijos sukeliamas daleles ir daleles, susidarančias iš judančių dalių, užtikrinant nesugadintą filtro grynumą. dujų.

3. Puikus mechaninis stiprumas

Griežtai patikrinti, kad būtų užtikrintas išskirtinis atsparumas sudėtinguose gamybos procesuose ir aplinkoje, kurioje dažnai naudojamas didelis dujų slėgis, šie filtrai užtikrina neprilygstamą veikimą visą jų eksploatavimo laiką.

4. Aukščiausių pramonės standartų viršijimas

Šie filtrai, viršijantys griežtus dujų apdorojimo filtravimo reikalavimus puslaidininkių apdorojimui, yra kruopščiai tikrinami, siekiant užtikrinti, kad jie atitiktų kritinį filtravimo efektyvumą, tikslų srauto valdymą ir saugos standartus, kurių reikalauja dujų tiekimo sistemos puslaidininkių gamyboje.

5. Nenutrūkstamas įsipareigojimas saugumui

Siekiant apsisaugoti nuo degiųjų, ėsdinančių, toksiškų ir piroforinių proceso dujų poveikio, filtrų korpusams atliekamas kruopštus nesandarumo bandymas, siekiant užtikrinti, kad jų nuotėkio greitis būtų mažesnis nei 1x10-9 atm scc/s. Šis nenutrūkstamas įsipareigojimas užtikrinti saugumą užtikrina, kad pavojingos dujos būtų sulaikomos ir apsaugotos nuo žalos.

6. Bekompromisis grynumas drožlių gamybai

Dėl savo išskirtinių filtravimo galimybių, nepaliaujamo įsipareigojimo saugos ir aukščiausių pramonės standartų laikymosi šie dujų filtrai atlieka pagrindinį vaidmenį saugant sudėtingą puslaidininkių gamybos procesą. Jie yra grynumo sergėtojai, užtikrinantys, kad per gamybos linijas tekėtų tik švariausios dujos, sudarydamos sąlygas sukurti aukštos kokybės mikroschemas, kurios maitina mūsų šiuolaikinį pasaulį.

Puslaidininkinių filtrų tipai

Puslaidininkiniai filtrai naudojami įvairiose srityse, įskaitant:

* Elektronikos gamyba:

Puslaidininkiniai filtrai naudojami dalelėms pašalinti iš itin gryno vandens, dujų ir puslaidininkių gamyboje naudojamų cheminių medžiagų.

* Cheminis mechaninis planavimas (CMP):

Puslaidininkiniai filtrai naudojami dalelėms pašalinti iš CMP srutų, kurios naudojamos puslaidininkinėms plokštelėms poliruoti.

* Biomedicina:

Puslaidininkiniai filtrai naudojami dalelėms pašalinti iš skysčių, naudojamų medicininėje diagnostikoje ir gydyme.

* Aplinka:

Puslaidininkiniai filtrai naudojami dalelėms pašalinti iš oro ir vandens.

Yra keturi pagrindiniai puslaidininkinių filtrų tipai:

1. Membraniniai filtrai:

Membraniniai filtrai yra pagaminti iš plonos, porėtos plėvelės, kuri leidžia skysčiams praeiti pro juos sulaikant daleles.

 

Membraniniai filtrai puslaidininkiams

 

 

2. Gylio filtrai:

Gylio filtrai yra pagaminti iš storos, vingiuotos medžiagos, kuri sulaiko daleles, kai jos teka per filtrą.

 

Gylio filtrai puslaidininkiams

 

 

3. Adsorbentiniai filtrai:

Adsorbuojantys filtrai yra pagaminti iš medžiagos, kuri pritraukia ir sulaiko daleles.

 

 Adsorbuojantys filtrai puslaidininkiams

 

 

4. Sukepinto metalo filtrai

Sukepinto metalo filtrai yra gylio filtrų tipas, dažniausiai naudojamas puslaidininkių gamyboje. Jie gaminami sukepinant smulkius metalo miltelius į porėtą struktūrą. Sukepinto metalo filtrai yra žinomi dėl savo didelio patvarumo, didelio filtravimo efektyvumo ir gebėjimo atlaikyti aukštą temperatūrą ir slėgį.

Sukepinto metalo filtrų, skirtų puslaidininkių gamybai, pranašumai:

* Didelis patvarumas:

Sukepinto metalo filtrai yra labai patvarūs ir gali atlaikyti atšiaurias eksploatavimo sąlygas, įskaitant aukštą temperatūrą, slėgį ir ėsdinančias chemines medžiagas.

 

* Didelis filtravimo efektyvumas:

Sukepinto metalo filtrai gali pašalinti iki 0,01 mikrono dydžio daleles, o tai būtina norint apsaugoti subtilius puslaidininkių komponentus nuo užteršimo.

* Ilgas tarnavimo laikas:

Sukepinto metalo filtrai turi ilgą tarnavimo laiką, juos galima lengvai išvalyti ir pakartotinai naudoti.

* Cheminis suderinamumas:

Sukepinto metalo filtrai yra suderinami su daugybe cheminių medžiagų, todėl juos galima naudoti įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose.

Sukepinto metalo filtrų panaudojimas puslaidininkių gamyboje:

* Dujų valymas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami puslaidininkių gamyboje naudojamoms dujoms, tokioms kaip azotas, vandenilis ir deguonis, valyti.

* Cheminis filtravimas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami puslaidininkių gamyboje naudojamoms cheminėms medžiagoms, pvz., rūgštims, bazėms ir tirpikliams, filtruoti.

* Itin grynas vandens filtravimas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami ypač grynam vandeniui, naudojamam puslaidininkių gamyboje, filtruoti.

* CMP srutų filtravimas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami CMP srutoms filtruoti, kurios naudojamos puslaidininkinėms plokštelėms poliruoti.

Sukepinto metalo filtrai yra esminė puslaidininkių gamybos proceso dalis, padedanti užtikrinti kokybiškų puslaidininkinių įtaisų gamybą.

 

Puslaidininkinio filtro tipas, naudojamas tam tikram pritaikymui, priklauso nuo pašalinamų dalelių dydžio, filtruojamo skysčio tipo ir norimo filtravimo lygio.

Čia yra lentelė, kurioje apibendrinami skirtingi puslaidininkinių filtrų tipai:

Filtro tipas	Aprašymas	Programos	Vaizdas
Membraniniai filtrai	Pagaminta iš plonos, porėtos plėvelės, kuri leidžia skysčiams prasiskverbti sulaikant daleles.	Elektronikos gamyba, CMP, biomedicina, aplinkosauga	Membraniniai filtrai puslaidininkiams
Gylio filtrai	Pagaminta iš storos, vingiuotos medžiagos, kuri sulaiko daleles, kai jos teka per filtrą.	CMP, biomedicinos, aplinkosaugos	Gylio filtrai puslaidininkiams
Adsorbuojantys filtrai	Pagaminta iš medžiagos, kuri pritraukia ir laiko daleles.	Elektronikos gamyba, CMP, biomedicina, aplinkosauga	Adsorbuojantys filtrai puslaidininkiams
Sukepinto metalo filtrai	Pagaminta sukepinant smulkius metalo miltelius į porėtą struktūrą.	Dujų valymas, cheminis filtravimas, itin grynas vandens filtravimas, CMP srutų filtravimas	Atsidaro naujame langewww.hengko.com Sukepinto metalo filtrai puslaidininkiams

Taikymas

Sukepinto metalo puslaidininkių dujų filtrai yra plačiai naudojami įvairiose srityse puslaidininkių pramonėje. Dėl unikalių jų savybių, tokių kaip didelis filtravimo efektyvumas, ilgaamžiškumas ir gebėjimas atlaikyti aukštą temperatūrą ir slėgį, jie yra esminė dujų tiekimo sistemų sudedamoji dalis puslaidininkių gamyboje.

Štai keletas konkrečių sukepinto metalo puslaidininkinių dujų filtrų naudojimo būdų:

1. Vaflių gamyba:

Sukepinto metalo filtrai naudojami plokštelių gamyboje naudojamoms dujoms, tokioms kaip azotas, vandenilis ir deguonis, valyti. Šios dujos yra būtinos tokiems procesams kaip epitaksinis augimas, ėsdinimas ir dopingas.

2. Cheminis filtravimas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami puslaidininkių gamyboje naudojamoms cheminėms medžiagoms, pvz., rūgštims, bazėms ir tirpikliams, filtruoti. Šios cheminės medžiagos naudojamos įvairiems tikslams, įskaitant valymą, ėsdinimą ir poliravimą.

3. Itin grynas vandens filtravimas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami puslaidininkių gamyboje naudojamam itin grynam vandeniui (UPW) filtruoti. UPW yra būtinas valant ir skalaujant plokšteles, taip pat ruošiant chemines medžiagas.

4. CMP srutų filtravimas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami CMP srutoms filtruoti, kurios naudojamos puslaidininkinėms plokštelėms poliruoti. CMP yra labai svarbus mikroschemų gamybos procesas.

5. Filtravimas naudojimo vietoje (POU):

Sukepinto metalo filtrai dažnai naudojami kaip POU filtrai, kurie montuojami tiesiai naudojimo vietoje, kad būtų užtikrintas aukščiausias filtravimo lygis. POU filtrai yra ypač svarbūs tais atvejais, kai dujų grynumas yra labai svarbus, pavyzdžiui, gaminant mikroprocesorius ir kitus didelio našumo įrenginius.

6. Didelio grynumo dujų tvarkymas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami didelio grynumo dujų tvarkymo sistemose, siekiant pašalinti teršalus iš puslaidininkių gamyboje naudojamų dujų. Šie teršalai gali būti dalelės, drėgmė ir organiniai junginiai.

7. Mikroelektronikos gamyba:

Sukepinto metalo filtrai naudojami gaminant mikroelektroniką, pavyzdžiui, kompiuterius, planšetinius kompiuterius, mobiliuosius telefonus, daiktų interneto jutiklius ir valdymo įrenginius.

8. Mikroelektromechaninių sistemų (MEMS) filtravimas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami MEMS filtravimui, tai yra teršalų pašalinimo iš mikroelektromechaninių sistemų procesas. MEMS naudojamos įvairiose srityse, įskaitant jutiklius, pavaras ir keitiklius.

9. Duomenų saugojimo įrenginio filtravimas:

Sukepinto metalo filtrai naudojami duomenų saugojimo įrenginių filtravimui, tai yra teršalų pašalinimo iš duomenų saugojimo įrenginių, tokių kaip standieji diskai ir kietojo kūno diskai, procesas.

Be šių specifinių pritaikymų, sukepinto metalo puslaidininkių dujų filtrai taip pat naudojami įvairioms kitoms puslaidininkių pramonės reikmėms. Dėl jų universalumo ir patikimumo jie yra esminė priemonė puslaidininkių gamintojams.

Ieškote aukščiausios kokybės sukepinto metalo puslaidininkinių dujų filtrų?

HENGKO yra jūsų partneris OEM sprendimų puslaidininkių gamybos sistemose.

Mūsų tiksliai suprojektuoti filtrai užtikrina jūsų procesų patikimumą ir efektyvumą, siūlydami pranašumą konkurencinėje rinkoje.

Kodėl verta rinktis HENGKO filtrus?

* Aukščiausia kokybė ir ilgaamžiškumas
* Individualūs sprendimai, atitinkantys jūsų konkrečius poreikius
* Patobulintas puslaidininkių gamybos našumas

Neleiskite, kad filtravimo iššūkiai trukdytų jūsų gamybai.

Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite, kaip mūsų sukepinto metalo filtrai gali pakeisti jūsų gamybos sistemą.

Susisiekite su mumis adresuka@hengko.com

Bendradarbiaukite su HENGKO ir ženkite žingsnį puslaidininkių gamybos meistriškumo link!