puslaidininkiniai dujų filtrai

Kodėl puslaidininkių gamybos procese reikia naudoti dujų filtrus? 

Dujų filtrai yra būtini puslaidininkių gamybos procese dėl kelių svarbių priežasčių:

1. Teršalų pašalinimas

Puslaidininkių gamyba apima daugybę jautrių procesų, kuriuose net mažiausi teršalai,

pvz., dulkių dalelės, drėgmė ar cheminių medžiagų likučiai, gali turėti žalingą poveikį. Nuimti dujų filtrai

kietosios dalelės, priemaišos ir ore sklindantys teršalai iš proceso dujų, užtikrinant švarią aplinką

ir išlaikant puslaidininkinių plokštelių vientisumą.

2. Ypatingo grynumo standartų laikymasis

Puslaidininkių pramonė reikalauja itin aukšto naudojamų dujų grynumo lygio, nes tai gali padaryti priemaišos

sukelti puslaidininkinių įtaisų defektus. Dujų filtrai padeda pasiekti itin grynų dujų kokybę, užkertant kelią

užterštumą ir gaminių nuoseklumą bei patikimumą.

3. Apsauginė įranga

Dujose esantys teršalai gali ne tik pakenkti puslaidininkinėms plokštelėms, bet ir pažeisti jautriąsias

gamybos procese naudojama įranga, pvz., cheminio garų nusodinimo (CVD) reaktoriai ir

ėsdinimo sistemos. Dujų filtrai apsaugo šias brangias mašinas nuo pažeidimų ir sumažina jų riziką

prastovos ir brangus remontas.

4. Derliaus praradimo prevencija

Išeiga yra labai svarbi puslaidininkių gamyboje, kur defektai gali sukelti didelių gamybos nuostolių.

Net dėl ​​vienos dalelės ar cheminės priemaišos gali sumažėti derlius, o tai gali turėti įtakos produktyvumui ir pelningumui.

Dujų filtrai užtikrina, kad proceso dujos būtų grynos, sumažinant užterštumą ir sumažinant išeigos nuostolius.

5. Produkto kokybės užtikrinimas

Puslaidininkių gamyboje svarbiausia yra nuoseklumas ir kokybė. Gali susidaryti užterštos dujos

neatitikimų, dėl kurių puslaidininkiniai įtaisai tampa nepatikimi. Naudodami dujų filtrus gamintojai gali

garantuoti, kad kiekviena partija atitinka reikalaujamus griežtus kokybės standartus, todėl prietaisas yra aukštesnis

našumas ir ilgaamžiškumas.

6. Prastovos trukmės mažinimas

Techninėse dujose esantys teršalai gali sukelti įrangos gedimą, todėl reikia atlikti techninę priežiūrą arba pakeisti.

Naudodami dujų filtrus, gamintojai gali sumažinti netikėtas prastovos laiką, išlaikyti veiklos efektyvumą ir

prailginti kritinės įrangos tarnavimo laiką.

7. Cheminis suderinamumas

Daugelis puslaidininkiniuose procesuose naudojamų dujų yra labai reaktyvios arba ėsdinančios. Dujų filtrai yra

sukurtas taip, kad atlaikytų šią atšiaurią cheminę aplinką, tuo pačiu efektyviai filtruojant priemaišas, užtikrinant

saugus ir efektyvus apdorojimas.

Apskritai, dujų filtrai yra gyvybiškai svarbūs siekiant išlaikyti puslaidininkių grynumą, patikimumą ir saugumą.

gamybos procesas, padedantis pasiekti aukštos kokybės, be defektų puslaidininkinius gaminius

taip pat apsaugoti vertingą įrangą.

Dujų filtrų tipai puslaidininkių gamybos procese

Puslaidininkių gamybos procese įvairių tipų dujų filtrai naudojami įvairiems tikslams

etapai ir iššūkiai, susiję su dujų grynumu ir įrangos apsauga.

Dažniausiai naudojami dujų filtrų tipai:

1. Kietųjų dalelių filtrai

*Paskirtis: pašalinti daleles, dulkes ir kitus kietus teršalus iš proceso dujų.

*Naudojimas: dažnai montuojamas įvairiais etapais, siekiant apsaugoti plokšteles, proceso kameras ir įrangą nuo užteršimo dalelėmis.

*Medžiagos: Paprastai pagamintas iš sukepinto nerūdijančio plieno, PTFE arba kitų medžiagų, kurios užtikrina ilgaamžiškumą ir cheminį suderinamumą.

2. Molekuliniai arba cheminiai filtrai (Getter filtrai)

*Paskirtis: pašalinti specifinius molekulinius teršalus, tokius kaip drėgmė, deguonis ar organiniai junginiai, kurių gali būti proceso dujose.

*Naudojimas: Naudojamas, kai reikalingos didelio grynumo dujos, pvz., nusodinimo ar ėsdinimo procesuose.

*Medžiagos: dažnai gaminama naudojant aktyvintąją anglį, ceolitą ar kitas adsorbuojančias medžiagas, specialiai sukurtas molekulinėms priemaišoms sulaikyti.

3. Didelio grynumo dujų filtrai

*Paskirtis: pasiekti itin aukšto grynumo (UHP) dujų standartus, kurie yra labai svarbūs puslaidininkių procesams, kur menkiausios priemaišos gali turėti įtakos gaminio kokybei.

*Naudojimas: Šie filtrai naudojami tokiuose procesuose kaip cheminis nusodinimas garais (CVD) ir ėsdinimas plazmoje, kur priemaišos gali sukelti rimtų defektų.

*Medžiagos: Pagaminta iš nerūdijančio plieno su specializuotomis membranomis, kad būtų išlaikytas vientisumas esant aukštam slėgiui ir ekstremalioms sąlygoms.

4. Birių dujų filtrai

*Paskirtis: Dujoms valyti įleidimo vietoje arba prieš paskirstant į gamybos linijas.

*Naudojimas: Padėtas prieš srovę dujų tiekimo sistemoje, kad būtų galima filtruoti dideles dujas prieš tiekiant jas į atskirus įrankius ar reaktorius.

*Medžiagos: Šie filtrai dažnai turi didelį pajėgumą, kad būtų galima apdoroti didelius dujų kiekius.

5. Naudojimo vietos (POU) dujų filtrai

*Paskirtis: užtikrinti, kad į kiekvieną konkretų apdorojimo įrankį tiekiamose dujose nebūtų jokių teršalų.

*Naudojimas: Įrengiamas prieš pat įleidžiant dujas į proceso įrangą, pvz., ėsdinimo arba nusodinimo kameras.

*Medžiagos: Pagaminta iš medžiagų, suderinamų su reaktyviosiomis dujomis, naudojamomis puslaidininkių procesuose, pvz., sukepinto metalo arba PTFE.

6. Vidiniai dujų filtrai

*Paskirtis: Suteikti tiesioginį dujų, judančių per paskirstymo sistemą, filtravimą.

*Naudojimas: Įrengtas dujotiekiuose pagrindiniuose taškuose, užtikrinant nuolatinį filtravimą visoje sistemoje.

*Medžiagos: Sukepintas nerūdijantis plienas arba nikelis, užtikrinantis cheminį suderinamumą su dujomis.

7. Paviršiaus montuojami dujų filtrai

*Paskirtis: montuojamas tiesiai ant dujų skydo komponentų, kad būtų pašalintos dalelės ir molekuliniai teršalai.

*Naudojimas: Įprasti ankštose erdvėse, šie filtrai užtikrina efektyvų filtravimą naudojimo vietoje kritinėse programose.

*Medžiagos: Labai grynas nerūdijantis plienas, užtikrinantis patvarumą ir suderinamumą su puslaidininkių gamybos dujomis.

8. Sub-mikroniniai filtrai

*Paskirtis: Išfiltruoti labai mažas daleles, dažnai net iki mikronų dydžio, kurios vis tiek gali sukelti didelių puslaidininkių procesų defektų.

*Naudojimas: Naudojamas procesuose, kuriems reikalingas aukščiausias filtravimo lygis, kad būtų palaikomas itin grynas dujų tiekimas, pvz., fotolitografija.

*Medžiagos: didelio tankio sukepinto metalo arba keramikos medžiagos, kurios gali efektyviai sulaikyti net mažiausias daleles.

9. Aktyvintos anglies filtrai

*Paskirtis: Pašalinti organinius teršalus ir lakias dujas.

*Naudojimas: Naudojamas tais atvejais, kai reikia pašalinti dujines priemaišas, kad būtų išvengta plokštelių užteršimo ar reakcijos sutrikimų.

*Medžiagos: Aktyvuotos anglies medžiagos, skirtos adsorbuoti organines molekules.

10.Sukepinto metalo dujų filtrai

*Paskirtis: Efektyviai pašalinti daleles ir nešvarumus, tuo pačiu užtikrinant konstrukcijos tvirtumą ir atsparumą aukštam slėgiui.

*Naudojimas: plačiai naudojamas keliuose puslaidininkių proceso etapuose, kur būtinas tvirtas filtravimas.

*Medžiagos: Paprastai pagamintas iš sukepinto nerūdijančio plieno arba kitų metalų lydinių, kad atlaikytų atšiaurią aplinką ir chemines medžiagas.

11.Hidrofobiniai dujų filtrai

*Paskirtis: Kad drėgmė ar vandens garai nepatektų į dujų srautą, o tai labai svarbu tam tikruose procesuose, kurie jautrūs net nedideliam drėgmės kiekiui.

*Naudojimas: Dažnai naudojamas tokiuose procesuose kaip plokštelių džiovinimas arba plazminis ėsdinimas.

*Medžiagos: Hidrofobinės membranos, pvz., PTFE, užtikrinančios, kad dujos nebūtų užterštos drėgme.

Šie įvairių tipų dujų filtrai yra kruopščiai atrenkami atsižvelgiant į jų specifines savybes, medžiagų suderinamumą ir tinkamumą unikalioms puslaidininkių gamybos procesų sąlygoms. Tinkamas filtrų derinys yra būtinas norint išlaikyti aukščiausią dujų grynumo lygį, užtikrinti proceso stabilumą ir užkirsti kelią puslaidininkinių įtaisų defektams.

Kai kurie DUK apie puslaidininkinius dujų filtrus

1 DUK:

Kas yra puslaidininkiniai dujų filtrai ir kodėl jie svarbūs?

Puslaidininkiniai dujų filtrai yra svarbūs puslaidininkių gamybos proceso komponentai.

Jie skirti pašalinti priemaišas ir teršalus iš proceso dujų, pvzdeguonies,

azotas, vandenilis ir įvairios cheminės dujos.

Šios priemaišos gali labai paveikti puslaidininkinių įtaisų kokybę, išeigą ir patikimumą.

Veiksmingai filtruodami dujų srautus, puslaidininkiniai dujų filtrai padeda:

1. Palaikykite aukštą grynumą:

Įsitikinkite, kad gamybos procese naudojamose dujose nėra teršalų, galinčių pabloginti įrenginio veikimą.

2. Apsaugokite nuo įrangos sugadinimo:

Apsaugokite jautrią puslaidininkinę įrangą nuo dalelių ir cheminio užteršimo, dėl kurio gali prireikti brangių prastovų ir remonto darbų.

3. Padidinkite produkto derlingumą:

Sumažinkite defektus ir gedimus, kuriuos sukelia dujos sklindančios priemaišos, todėl produkcijos išeiga bus didesnė.

4. Padidinkite įrenginio patikimumą:

Sumažinkite ilgalaikį puslaidininkinių įtaisų gedimą dėl su užterštumu susijusių problemų.

2 DUK:

Kokie yra įprasti puslaidininkinių dujų filtrų tipai?

Puslaidininkių gamyboje naudojami kelių tipų dujų filtrai, kurių kiekvienas skirtas pašalinti

tam tikrų rūšių teršalų.

Dažniausiai pasitaikantys tipai apima:

1. Kietųjų dalelių filtrai:

Šie filtrai pašalina kietąsias daleles, tokias kaip dulkes, pluoštus ir metalo daleles, iš dujų srautų.

Paprastai jie yra pagaminti iš medžiagų, tokių kaip sukepintas metalas, keramika arba membraniniai filtrai.

2. Cheminiai filtrai:

Šie filtrai pašalina chemines priemaišas, tokias kaip vandens garai, angliavandeniliai ir ėsdinančios dujos.

Jie dažnai yra pagrįsti adsorbcijos arba absorbcijos principais, naudojant tokias medžiagas kaip aktyvuota anglis,

molekuliniai sietai arba cheminiai sorbentai.

3. Kombinuoti filtrai:

Šie filtrai sujungia kietųjų dalelių ir cheminių filtrų galimybes, kad pašalintų abu tipus

teršalų. Jie dažnai naudojami kritinėse srityse, kur būtinas didelis grynumas.

3 DUK:

Kaip parenkami ir projektuojami puslaidininkiniai dujų filtrai?

Puslaidininkinių dujų filtrų pasirinkimas ir projektavimas apima keletą veiksnių, įskaitant:

* Dujų grynumo reikalavimai:

Norimas konkretaus dujų srauto grynumo lygis lemia filtro filtravimo efektyvumą ir talpą.

* Srauto greitis ir slėgis:

Filtruojamų dujų tūris ir darbinis slėgis turi įtakos filtro dydžiui, medžiagai ir konfigūracijai.

* Teršalų tipas ir koncentracija:

Konkrečių tipų teršalai, esantys dujų sraute, lemia filtravimo terpės pasirinkimą ir jos porų dydį.

*Temperatūra ir drėgmė:

Veikimo sąlygos gali turėti įtakos filtro veikimui ir eksploatavimo trukmei.

* Išlaidos ir priežiūra:

Reikia atsižvelgti į pradinę filtro kainą ir jo nuolatinės priežiūros reikalavimus.

Atidžiai įvertinę šiuos veiksnius, inžinieriai gali pasirinkti ir suprojektuoti dujų filtrus, kurie atitinka specifinius reikalavimus

puslaidininkių gamybos proceso poreikius.

Kaip dažnai reikia keisti dujų filtrus puslaidininkių gamyboje?

Dujų filtrų keitimo dažnis puslaidininkių gamyboje priklauso nuo kelių veiksnių, įskaitant filtro tipą

procesas, teršalų lygis ir konkretus naudojamo filtro tipas. Paprastai dujų filtrai keičiami reguliariai

techninės priežiūros grafikas, kad būtų išvengta bet kokios užteršimo rizikos,dažnai kas 6–12 mėnesių, priklausomai nuo naudojimo sąlygų

ir filtro gamintojo rekomendacijas.

Tačiau pakeitimo grafikai gali labai skirtis priklausomai nuo veiklos aplinkos. Pavyzdžiui:

* Didelio teršalų kiekio procesai:

Filtrus gali tekti keisti dažniau, jei jie yra veikiami aukšto lygio

dalelių ar molekulinio užteršimo.

* Kritinės programos:

Procesuose, kuriems reikalingas itin didelis grynumas (pvz., fotolitografija), filtrai dažnai pakeičiami

prevenciškai siekiant užtikrinti, kad nenukentėtų dujų kokybė.

Slėgio skirtumo filtre stebėjimas yra įprastas būdas nustatyti, kada filtrą reikia pakeisti.

Kai kaupiasi teršalai, slėgio kritimas filtre didėja, o tai rodo efektyvumo sumažėjimą.

Labai svarbu pakeisti filtrus, kol jų efektyvumas nesumažėja, nes bet koks dujų grynumo pažeidimas gali sukelti didelių defektų,

sumažinti derlių ir netgi sugadinti įrangą.

Iš kokių medžiagų gaminami dujų filtrai puslaidininkiams?

Dujų filtrai, naudojami puslaidininkiuose, yra pagaminti iš medžiagų, kurios gali išlaikyti aukščiausius grynumo standartus

ir atlaikyti atšiaurią gamybos aplinką. Įprastos medžiagos apima:

*Nerūdijantis plienas (316L): Plačiausiai naudojama medžiaga dėl savo cheminio atsparumo, mechaninio stiprumo ir

galimybė pagaminti tiksliais porų dydžiais naudojant sukepinimo technologiją. Tinka filtruoti tiek reaktyvius

ir inertinės dujos.

*PTFE (politetrafluoretilenas): PTFE yra chemiškai inertinė medžiaga, naudojama labai reaktyviam arba ėsdinančiam filtruoti

dujų. Jis turi puikų cheminį suderinamumą ir hidrofobines savybes, todėl idealiai tinka drėgmei jautriems žmonėms

procesus.

* Nikelis ir Hastelloy:

Šios medžiagos naudojamos aukštoje temperatūroje arba procesuose, kuriuose naudojamos agresyvios cheminės medžiagos

kur gali suirti nerūdijantis plienas.

* Keramika:

Keraminiai filtrai naudojami tais atvejais, kai reikalingas atsparumas ekstremaliai temperatūrai, arba mažesniems nei mikronų filtrams

dalelių filtravimas.

Medžiagos pasirinkimas priklauso nuo dujų rūšies, reaktyviųjų rūšių buvimo, temperatūros ir

kiti proceso parametrai. Medžiagos turi būti nereaguojančios, kad jose nepatektų jokių priemaišų

arba daleles į procesą, taip išlaikant dujų grynumo lygį, reikalingą puslaidininkių gamybai.

Koks yra naudojimo taško (POU) filtrų vaidmuo puslaidininkių gamyboje?

Naudojimo taško (POU) filtrai yra būtini puslaidininkių gamyboje, nes jie užtikrina, kad dujos būtų išvalytos prieš pat

įeinant į proceso įrankius. Šie filtrai suteikia galutinę apsaugą nuo teršalų, kurie galėjo patekti į dujų srautą

sandėliavimo, transportavimo ar paskirstymo metu, taip pagerinant proceso stabilumą ir produkto kokybę.

Pagrindiniai POU filtrų pranašumai:

*Padėtas šalia kritinės įrangos (pvz., ėsdinimo ar nusodinimo kamerų), kad užteršimas nepatektų į plokštelę.

*Pašalinkite kietąsias daleles ir molekulines priemaišas, kurios gali patekti dėl dujų tvarkymo sistemos arba aplinkos poveikio.

*Užtikrinti, kad į proceso įrankį būtų tiekiamos aukščiausios kokybės dujos, apsaugant įrangą ir gerinant gaminamų prietaisų kokybę.

* Sumažinkite proceso kintamumą, padidinkite derlių ir sumažinkite defektų lygį.

*Nepakeičiamas pažangiose puslaidininkių aplinkose, kur net ir nedidelės priemaišos gali labai paveikti produktyvumą ir produkto patikimumą.

Kaip dujų filtrai apsaugo nuo puslaidininkių procesų įrangos prastovos?

Dujų filtrai užkerta kelią įrangos prastovoms puslaidininkių procesuose, užtikrindami, kad proceso dujos nuolatos nebūtų

teršalų, galinčių sugadinti gamybos įrangą. Puslaidininkių gamyboje naudojami labai

jautri įranga, įskaitant nusodinimo kameras, plazminio ėsdinimo mašinas ir fotolitografijos sistemas.

Jei teršalai, tokie kaip dulkės, drėgmė ar reaktyvios priemaišos, patenka į šias mašinas, gali sukelti įvairių problemų,

nuo užsikimšusių vožtuvų ir purkštukų iki sugadintų plokštelių paviršių ar reaktoriaus vidaus.

Naudodami aukštos kokybės dujų filtrus, gamintojai užkerta kelią šių teršalų patekimui, sumažindami tikimybę

neplanuota priežiūra ir įrangos gedimai. Tai padeda išlaikyti stabilius gamybos grafikus ir sumažinti

brangių prastovų ir didelių išlaidų, susijusių su remontu ar keitimu, išvengimas.

Be to, gerai prižiūrimi filtrai padeda pailginti pagrindinių komponentų, tokių kaip srauto reguliatoriai, vožtuvai ir reaktoriai, tarnavimo laiką,

taip padidinant bendrą gamybos proceso efektyvumą ir pelningumą.

Taigi patikrinkite šiek tiek informacijos apie puslaidininkinius dujų filtrus, jei vis tiek turite klausimų.

Pasiruošę optimizuoti savo puslaidininkių gamybos procesą naudodami aukštos kokybės dujų filtravimo sprendimus?

Susisiekite su HENGKO šiandien, kad gautumėte ekspertų patarimų ir pritaikytų sprendimų, atitinkančių jūsų poreikius.

Patikrinus tam tikrą informaciją apie puslaidininkinį dujų filtrą, jei turite daugiau klausimų?

Pasiruošę optimizuoti savo puslaidininkių gamybos procesą naudodami aukštos kokybės dujų filtravimo sprendimus?

Susisiekite su HENGKO šiandien, kad gautumėte ekspertų patarimų ir pritaikytų sprendimų, atitinkančių jūsų poreikius.

Rašykite mums elka@hengko.comNorėdami gauti daugiau informacijos.

Mūsų komanda yra čia, kad padėtų jums pagerinti gamybos efektyvumą ir produktų kokybę.