Didelio našumo IGS paviršinio montavimo C sandarinimo filtrai puslaidininkinių dujų tiekimo sistemoms
Aprašymas
„HENGKO“ paviršinio montavimo filtrai sukurti taip, kad atitiktų griežtus integruotų dujų sistemų, naudojamų puslaidininkinių originalios įrangos gamintojų įrankiuose, reikalavimus. Šie filtrai, pasižymintys pirmaujančia pramonėje 0,003 µm filtravimo sistema, užtikrina išskirtinį našumą ir patikimumą, o dalelių sulaikymo efektyvumas siekia ≥99,9999999 % (9-LRV) esant 120 s/min. greičiui.
Šie filtrai, pagaminti iš tvirto 316L nerūdijančio plieno, sukepinto milteliniu būdu, filtro elementas ir korpusas atitinka SEMI F86-0304 specifikacijas ir turi dviejų prievadų komponentus, pritaikytus 1,125 colio dujų paskirstymo sistemoms su C formos sandarinimo konfigūracija. Jie palaiko maksimalų 3,4 MPa įleidimo slėgį esant 100 °C temperatūrai ir maksimalų 0,69 MPa darbinio slėgio skirtumą esant 100 °C temperatūrai.
Šie specializuoti filtrai, suderinami tiek su C, tiek su W tipo sandariklių specifikacijomis, užtikrina švarą pasroviui, išskirdami daleles
Su Ra paviršiaus apdaila< 1,6 µm išorėje ir RaKadangi viduje yra < 0,13 µm, jie sukurti taip, kad atlaikytų iki 460 °C aukštą temperatūrą. Šie filtrai sukurti taip, kad būtų lengva integruoti ir juos būtų galima moduliniu būdu atnaujinti, todėl jie supaprastina montavimą ir priežiūrą, padėdami optimizuoti sistemos našumą puslaidininkių dujų tiekimo ir valdymo sistemose.
Produkto savybė
▶ Bendra 316L nerūdijančio plieno konstrukcija
▶ Miniatiūrinis dizainas, kompaktiška konstrukcija, taupanti vietą
▶ Puikios dujų pakeitimo ir desorbcijos savybės
▶ Atsparus aukštai temperatūrai, aukštam slėgiui ir korozijai
▶ Elektropoliruotas 316L nerūdijančio plieno korpusas
▶ Paprastas ir efektyvus montavimas ir priežiūra
▶ Mechaninis sandarinimas, struktūriškai nesuvirintas prie terpės
Duomenų lapas
| Techniniai parametrai | Vertybės |
|---|---|
| Filtro elemento medžiaga | 316L nerūdijančio plieno sukepintų miltelių |
| Korpuso medžiaga | 316L nerūdijantis plienas |
| Maksimalus įleidimo slėgis | 3,4 MPa esant 100 °C temperatūrai |
| Didžiausias darbinis skirtumas | 0,69 MPa esant 100 °C temperatūrai |
| Helio patikros nuotėkio greitis | 1x10⁻¹¹ cm³/min |
| Helio bandymo nuotėkio greitis | 1x10⁻⁹ cm³/min |
| Paviršiaus apdorojimas | Išorinis paviršius Ra< 1,6 μm |
| Vidinis paviršius Ra< 0,13 μm | |
| Maksimali darbinė temperatūra | 460°C |
| Dalelių perėmimo efektyvumas | ≥99,9999999 % (9-LRV) esant 120 s/min. (etaloninis MPPS, visos dalelės) |
| Žemyninio srauto švara | Dalelių išsiskyrimas:< 0,03 dalelės/litre (< 1 dalelė/ft³) |
| Lakiosios medžiagos:< 10 ppb drėgmės | |
| Dalelių perėmimo dydis | ≥0,003 μm |
| Srauto diapazonas | 0 ~ 120 spyrių per minutę |
Dydis
Štai detalės numeris, kurį galite užsisakyti, ir dydžio informacija:
| Produkto modelis | Srauto greitis | Aukštis (mm) | Filtravimo tikslumas | Valymo lygis |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 spyrių per minutę | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 spyrių per minutę | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 spyrių per minutę | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 spyrių per minutę | 167,9 | 0,003 μm | C |
Tipinės taikymo sritys
Skirta naudoti su W-seal ir C-seal, 1,125 colio ir 1,5 colio paviršinio montavimo modulinėmis dujų tiekimo sistemomis.
Atsiųskite mums savo žinutę:
