Temperatūros ir drėgmės jutiklis, skirtas puslaidininkių švarios patalpos temperatūros drėgmės valdymo schemai
Prekių paroda
Temperatūrairšvarios erdvės drėgnumas daugiausia nustatomas pagal proceso reikalavimus, tačiau esant proceso reikalavimų tenkinimui, reikia atsižvelgti į komforto jausmą.Tobulėjant oro švaros reikalavimams, pastebima tendencija vis griežtinti temperatūros ir drėgmės reikalavimus.
Kadangi apdorojimo tikslumas yra vis geresnis, temperatūros svyravimų diapazonas yra vis mažesnis.Pavyzdžiui, didelio masto integrinių grandynų gamybos litografinio poveikio procese stiklo ir silicio plokštelės, kaip kaukės medžiagos, šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumas turi būti vis mažesnis.100 um silicio plokštelės skersmuo, temperatūros kilimas 1 laipsniu, sukels 0,24 um linijinį plėtimąsi, todėl turi būti ±0,1 laipsnio temperatūra, tuo pačiu metu drėgmės vertė paprastai yra maža, nes žmonės prakaituoja, gaminys bus užterštas, ypač bijo natrio puslaidininkių dirbtuvės, šios dirbtuvės neturi viršyti 25 laipsnių.
Didelė drėgmė sukelia daugiau problemų.Santykinei oro drėgmei viršijus 55 proc., ant aušinimo vandens vamzdžio sienelės susiformuos rasa, kuri sukels įvairių nelaimingų atsitikimų, jei tai įvyks tiksliuosiuose įrenginiuose ar grandinėse.Kai santykinė oro drėgmė yra 50%, lengvai rūdija.Be to, kai drėgmė yra per didelė, prie silicio lusto paviršiaus prilipusios dulkės bus chemiškai adsorbuojamos ant paviršiaus, kad būtų išvengta pašalinimo.Kuo didesnė santykinė oro drėgmė, tuo sunku pašalinti sukibimą, tačiau kai santykinė oro drėgmė yra mažesnė nei 30%, dalelės lengvai adsorbuojasi ant paviršiaus dėl elektrostatinės jėgos veikimo, o daug puslaidininkinių įtaisų linkę į gedimą.Optimalus vaflių gamybos temperatūros diapazonas yra 35-45%.
Todėl temperatūros ir drėgmės kontrolė yra ypač svarbi, HENGKO gali suteikti jums daugybętemperatūros ir drėgmės siųstuvų pritaikyti apdorojimo sprendimai!
Temperatūros ir drėgmės jutiklis, skirtas puslaidininkių švarios patalpos temperatūros drėgmės valdymo schemai
Nerandate prekės, atitinkančios jūsų poreikius?Susisiekite su mūsų pardavimo darbuotojaisOEM / ODM tinkinimo paslaugos! 
